Estudo das propriedades elétricas e óticas de filmes de ZnNb:TiO2 sobre vidro depositados por HiPIMS
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Tipo
Dissertação
Data de publicação
2022-02-17
Periódico
Citações (Scopus)
Autores
Laur, Alexandre Barbosa Lucas
Orientador
Massi , Marcos
Título da Revista
ISSN da Revista
Título de Volume
Membros da banca
Vatavuk, Jan
Fontana, Luis César
Fontana, Luis César
Programa
Engenharia de Materiais e Nanotecnologia
Resumo
Com suas propriedades fotocatalíticas e diversas aplicações já existentes, filmes finos de TiO2 tem se mostrado alvo de interesse na comunidade científica. O TiO2 vem sendo estudado com o propósito de alterar e obter propriedades e morfologias
desejáveis, para essa alteração a dopagem do TiO2 com zinco e nióbio mostrou resultados interessantes para otimizar as propriedades óticas e elétricas. Existem diversas formas de obtenção desse material em nanoescala, de rotas químicas a
físicas. Neste trabalho filmes finos de ZnNb:TiO2 foram obtidos através da técnica de HiPIMS reativo, com variação na largura de pulso. As propriedades morfológicas, elétricas e óticas dos filmes foram estudadas com o objetivo de correlacionar as propriedades obtidas com cada largura de pulso utilizada. Conforme a largura de pulso aumenta os filmes obtidos mostram espessuras e rugosidades crescentes, mantendo as transmitâncias no espectro visível, mas com diminuição da
resistividade elétrica.
Descrição
Palavras-chave
ZnNb:TiO2 , HiPIMS high power impulse magnetron sputtering , transmitância , resistividade , filmes finos